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砷化镓加热电源及控制器


  • 可提供产品包括：电柜、后处理类（退火）、控制器、炉体。

  • 6Q系列-单晶装备

  • 9Q系列-多晶合成装备

  • 3Q系列-退火装备

  • 可实现与多种控制接口；

  • 智能型SCR组件控制；

  • 高可靠性

  • 电压电流范围：2/4/6寸单晶可选

  • 合成炉应用兼容

  • 应用可拓展范围：退火

  • 与TCS2014-P系列温控器可实现极高的温度稳定度（比传统方案至少稳定度高一倍以上）

  • 节省电耗10%以上


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